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# ELLIPSOMETRIE

Aimé Vareille , Patrice Ballet.

Avancement et contributions
Foire Aux Questions
Version 0.485

"La générosité est l'art d'engendrer la liberté de l'autre"
Copyleft de René Descartes (1596-1650)

Projet d'instrumentation à base de logiciels libres : mesure de polarisation, ellipsométrie des couches minces
La dernière version des pages d'ellipsométrie en un seul fichier (2 229 679 octets) : ellipsometrie_v047.zip

Mention spéciale :
Beaucoup se sont réjouis : les aveugles voient, les sourds entendent et les infirmes marchent. Regardez comme la lumière est bonne avec l'ellipsométrie nous contrôlons le picomètre et nous allons pouvoir façonner le monde atome par atome.
Ces pages sont dédiées à tous ceux et celles qui sont dans des situations difficiles à vivre et qui sont, en fait, les seuls à pouvoir donner un sens véritable à nos folles entreprises : http://www.multimania.com/cybershadow/

I. Introduction

II. Equations instrumentales
II.1. Description de la lumière polarisée
II.2. Représentations matricielles des optiques
II.3. La photodétection

III. Mesures simples de la polarisation lumineuse
III.1. Mesure par annulation (Sénarmont)
III.2. Mesure des paramètres de Stokes

IV. Mesures de distance
IV.1. Le picomètre par ellipsométrie
IV.2. Interférométrie et ellipsométrie
IV.3. Le picomètre sur des kilomètres

V. Ellipsométrie des couches minces
V.1. Ellipsomètre à annulation
V.2. Ellipsomètre à biréfringent tournant
V.3. Interprétation des mesures (algorithmes multicouches commentés)
V.4. Précision des mesures d'épaisseurs de couches minces

VI. Exemples de mesures ellipsométriques
VI.1. Cinétique d'oxydation du silicium
VI.2. Compaction de résine lithographique
VI.3. Cartographie de siliciure de germanium

VII. Photoélasticité
VII.1. Contraintes et déformations des couches minces
VII.2. Dispersion chromatique de la photoélasticité

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